有效測量行程(X軸×Y軸) :300 mm×200 mm Z軸調(diào)焦升降范圍:≤200mm 分辨率:0.001mm X、Y軸線性精度:U≤( 3+L/200 )μm 載物臺尺寸:445mm×345mm 玻璃臺尺寸:330 mm×230 mm 承載重量:≤25 kg 影像系統(tǒng):美國TEO高分辨率1/3"彩色CCD 物鏡:可連續(xù)變倍光學(xué)放大倍率0.7×-4.5× 影像放大倍率:20-225×, 光柵尺:高精度精密光柵尺,分辨率1um 照明系統(tǒng):表面光源及透射光源均為LED,亮度可調(diào) 傳動方式:精密無牙傳動+P級交叉導(dǎo)軌 操作方式:搖桿手柄、鼠標拖運、 主機外形尺寸:700 mm×470mm×950 mm 機臺底座、工作臺、Z軸立柱:高精度花崗巖 儀器總重:約150 kg 量測軟件:光學(xué)視覺精密測量測軟件 數(shù)據(jù)輸出:測量數(shù)據(jù)Word(doc)、Excel(xls)
物件放大攝像圖形(bmp、jpg)、二維圖形AutoCAD(dxf) 簡單SPC分析,數(shù)據(jù)Word(doc格式)、Excel(xls格式) |